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    ELA系列超精密直線伺服氣浮平臺
    瀏覽:925 發布日期:2021-10-08?

    由一派數控與德國AeroLas聯合開發的ELA系列超精密平臺,是以直線電機為驅動,微孔氣浮導軌為支撐,控制精度在0.5~0.1微米的多軸運動平臺,是高端電子、光學、芯片等工業領域精密加工和精密檢測的首選伺服裝置。其顯著特點是:

    ●所有運動部件均無接觸摩擦,無過定位;

    ●所有運動軸系布置在一個平面上,最大限度地提高平臺結構的穩定性和工件移動時的平面度。

    ELA系列主要技術參數:

    技術指標描述

    X/Y行程

    X/Y速度

    X/Y軸加速度

    X/Y軸絕對定位精度

    X/Y軸重復定位精度

    單軸直線度

    C軸轉角

    C軸轉角絕對定位精度

    C軸轉角重復定位精度

    工作平面的平面度

    技術參數

    300X300mm

    0.05~1m/s

    2g

    0.4um?? (有補償)

    0.2um

    ±1um?? (有效行程)

    360°

    ±1.5角秒

    ±1角秒

    0.5um

    各單項可實現的最高指標

    4000X2500mm

    4m/s

    5g

    0.25um(與測量控制系統有關)

    0.02um(與測量控制系統有關)

    ±0.5um? (有效行程)

    360°

    ±1.5角秒

    ±1角秒

    0.3um

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